超聲波清洗主要采用超聲波空化作用，其空化作用受工藝參數和清洗液的物理性質的影響。為保證超聲波清洗效果，必須選擇合適的清洗液，并明確超聲波清洗機的清洗工藝參數。與超聲波清洗效果相關的物理量包括功率密度、超聲波頻率、清洗劑類型、清洗溫度等。
[敏感詞]，工作頻率和功率。
超聲波清洗的主要參數是功率，或者更準確地說，應該是指清洗件表面的功率和密度。它直接影響超聲波強度的大小。聲強直接影響空化效果。因此，在選擇超聲波清洗功率時應特別注意。超聲波清洗效果不一定與功率清洗時間完全成正比。當功率增加時，空化強度將大大提高，清洗效果也將提高。但是，當強度過大時，清洗件表面容易產生空化腐蝕，清洗缸底部的振動板也嚴重空化，水點腐蝕也增加，縮短了超聲波清洗機的使用壽命。因此，應根據實際使用情況選擇超聲波功率，以獲得有效的清洗。功率一般為0.1kW~10kW，強度為0.1~1.0w/cm2。在相同強度下，超聲波頻率越低，清洗液中的空化效果越好。這是因為當工作頻率較低時，清洗液壓縮稀疏時間隙較長，氣泡可達到較大體積。當空化氣泡體積較大時，空化強度增加，有利于清潔，因此使用較低的工作頻率可以獲得較高的清潔能力。但是，當工作頻率過低時，會導致噪聲增加，污染環境。一般選擇在15kHz~30kHz之間，對于一些特殊的清潔部件或特殊的清潔要求，可以適當地提高頻率，如表面有小間隙、深孔等形狀，可以適當地提高頻率。當然，對于半導體制造過程中的硅片清洗，可以選擇兆赫級超聲波清洗設備。
第二，清洗液溫度。
當天氣寒冷時，清洗液的溫度隨溫度而降低，直接影響空化效應，導致清洗效果不理想。因此，大多數清洗機應以不同的方式加熱清洗液，并控制清洗液的溫度。如果清洗液的溫度升高，則有利于空化效應的發生。當溫度繼續升高時，氣泡中氣體的蒸汽壓也會隨著溫度的升高而升高，導致沖擊聲壓和空化強度的降低，這將削弱空化效果。因此，每種清洗液都應選擇合適的溫度，即空化活性溫度，以達到[敏感詞]的清洗效果。如果水基清洗液的空氣活性溫度為60℃，則更適合使用60℃的水作為清洗液。
第三，選擇清洗液。
放射性濾芯的清洗通常采用酸、堿等作為清洗劑，其成本相對可控，效果明顯。根據濾芯的材料和工藝環境，表面附著的放射性物質成分也有所不同。選擇合適的清潔劑是保證清潔效率的主要因素之一。
目前，常用的超聲波清洗液包括金屬清洗液、堿性清洗液、混合烴有機溶劑、鹵代烴有機溶劑等。其中，鹵代烴有機溶劑對油的溶解效果更高，振蕩程度更高，更適合超聲波清洗領域。
第四，超聲波清洗時間。
超聲波清洗也直接影響清洗效果和質量，時間短，不能滿足清洗要求。如果清洗時間過長，會影響清洗效率，甚至會對工件表面造成空化腐蝕。一般來說，對于一些表面燒結材料較嚴重的工件，可以適當增加清洗時間。對于表面光滑、燒結材料較輕的工件，需要控制清洗時間。
超聲波空化的強度與聲學的技術參數、清洗液的物理化學性質和環境條件有關。因此，為了獲得良好的清洗效果，必須選擇合適的超聲波清洗工藝參數和清洗液。
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